甲烷脫氫在等離子體中產生的C2H6和C2H4會進一步與高能電子反應形成C2H5和C2H3自由基，電暈機高壓短路因此可以推測甲烷脫氫反應產生的微量C3和C4產物主要遵循以下途徑：CH3+C2H5+M&Rarr；C3H8+M(3-21)CH2+C2H6+M&RARR；C3H8+M(3-22)CH3+C2H3+M&RARR；C3H6+M(3-23)CH2+C2H4+M&Rarr；C3H6+M(3-24)C2H5+C2H5+M&RARR；C4H10+M(3-25)光譜分析結果表明甲烷在等離子體下脫氫主要是自由基過程，因此多種反應途徑并存。
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電暈機高壓短路
用這種方法可以事半功倍，往往能快速找到故障點。要有一個電壓電流可調的電源，電壓0-30V，電流0-3a，這個電源不貴，大約300元左右。將開路電壓調整到器件的供電電壓電平，首先將電流調整到較小的電平，將此電壓施加到電路的供電電壓點，如74系列芯片的5V、0V端子，視短路程度緩慢增加電流，用手觸摸器件，當觸摸到發熱明顯的器件時，這往往是損壞的元件，可以拆下進一步測量確認。
如果燃氣沒有問題，請檢查減壓表、氣路電磁閥、流量計工作是否正常。檢查電路是否開路或短路。5真空等離子清洗機放空氣體壓力太低，請檢查氣體是否打開或氣體是否排出如發生此類報警，請檢查真空等離子清洗機腔體底部用于破真空的氣路電磁閥是否正常工作，線路是否開路或短路。6真空等離子清洗機真空室門未關閉，請關閉真空室門（1）如果真空等離子清洗機的真空室門沒有關閉，啟動設備時就會出現這種報警。請關上真空門。
可能的原因是CHx自由基容易附著在催化劑表面，吸附位點合適，導致CHx自由基偶聯生成C2烴的幾率增加。對于NiO/Y-Al203來說，這不僅是由于CO2轉化率高和體系中的CO2轉化率高，而且是由于CO2轉化率高除了C、0結合可提高CO收率外，CHx自由基在催化劑表面吸附時，還被吸附在催化劑上的活性O原子氧化成CO。在相同的實驗條件下，考察了NiO負載量對2烴和CO產率的影響。
因此，經營者除了具備制造產品的能力外，還必須具備以下四種能力：1.發現異常的能力能發現設備差異往往“異常發現能力”并不是簡單地在故障或缺陷已經發生時發現異常，而是在故障和缺陷似乎發生時，這些故障的原因等異常一目了然。只有這樣，才稱得上是真正的“異常發現能力”。
220v電暈機高壓短路的原因
在微電子封裝生產過程中，電暈機高壓短路由于指紋、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等原因，器件和材料表面會形成各種污染物，包括有機物、環氧樹脂、焊料、金屬鹽等。這些污染物會明顯影響包裝生產過程中相關工序的質量。
