等離子體中存在的離子的溫度用Ti表示，附著力大小如何表示電子的溫度用Te表示，中性粒子如原子、分子或原子團的溫度用Tn表示。如果Te遠高于Ti或Tn，即低壓氣體，該氣體的壓力只有幾百帕斯卡，很容易沿途加速，產生平均幾個電子伏特的能量。在電子的情況下，這個能量對應的溫度是幾萬度千度，而且由于離子的質量很大，它們很難被電場加速，所以溫度是幾千度。這種等離子體被稱為冷等離子體，因為氣體粒子的溫度低（低溫特性）。
由以下反應方程式表示的等離子體形成過程在一般數據中很常見。例如，附著力大小如何表示氧等離子體的形成過程可以用以下六個反應方程式來表示。第一個方程表明氧分子在獲得外部能量后變成氧陽離子并放出自由電子，第二個方程表明氧分子。在外加能量后，得到兩個氧原子自由基分解形成的過程。第三個方程表明氧分子具有高能量。處于激發態的自由電子的數量被轉換為激發態的下降。第四個和第五個方程表明被激發的氧分子進一步轉化。
等離子清洗機產生的等離子具有上述特性，附著力大小與什么有關系是因為等離子中的電子與氣體分子發生碰撞。當碰撞能量小時，發生彈性碰撞，電子的動能幾乎沒有變化。當碰撞能量較高時，分子中圍繞原子核運行的低能電子被激發，在碰撞中獲得足夠的能量，并在遠離原子核的高能軌道上運動。等離子體清潔器的高能態分子，稱為激發態分子，用 XY * 表示。當受激分子中的電子從高能級返回到低能級時，它們會以發光的形式釋放出多余的能量。
等離子體吸塵器中產生等離子體的裝置是將兩個電極放置在密封的容器中，附著力大小如何表示與真空泵形成電場，達到一定的真空度。隨著氣體越來越稀薄，分子間的距離和分子或離子的自由運動距離也越來越長。在電場作用下，它們碰撞形成等離子體。這些離子具有足夠高的活性和能量，可以打破幾乎所有的化學鍵，在暴露的表面上引起化學反應。不同氣體的等離子體具有不同的化學性質。例如，氧等離子體具有很高的氧化性能，可以氧化光刻膠產生氣體，從而達到清洗效果。
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常用的等離子體激勵頻率有三種：激勵頻率為40kHz的超聲等離子體、激勵頻率為13.56MHz的射頻等離子體和激勵頻率為2.45GHz的微波等離子體。不同等離子體產生的自偏壓不同。超聲等離子體的自偏壓約為0V，射頻等離子體的自偏壓約為250V，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機理不同。
RF是射頻電流，是用交流電產生的高頻電磁波的簡稱。每秒交流電流小于0稱為低頻電流，大于00稱為高頻電流。Rf電流是高頻電流。因此，我們將很容易區分這兩種設備。。
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當發生報警時，如機械泵（倒計時）定時器故障、機械泵熱過載故障、功率偏移、反射過大等，設備自動關機，防止設備主要部件損壞增加。摘要： PLASMA 設備上的警報自動關閉，但真空室仍處于真空狀態。如果設備出現故障停機后，操作人員無法打破真空或打開機械泵，而是直接點擊自動界面上的啟動按鈕，從高真空蒸汽隔膜閥到真空室的過程處于高真空狀態真空，從高真空到常壓下機械泵的末端。
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