傳統(tǒng)金屬Cu蝕刻中使用的Cl2氣體等離子體在高溫下反應(yīng)形成CuCl2，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備龍頭中微公司在后續(xù)工藝中將其去除。 Hess課題組報道了如何在低溫（10℃）下使用H2氣體等離子刻蝕，并在等離子表面處理機ICP的刻蝕室中成功實現(xiàn)了Cu刻蝕。

表 3.8 不同碳氟比條件下介質(zhì)層和硅的刻蝕率和選擇性刻蝕率/（nm/min>選擇性均勻度/%）。等離子表面清洗機的具體用途有哪些？等離子表面清洗機是一種干洗方式。等離子清洗的原理主要依靠等離子中活性粒子的“活化”來去除物體表面的污垢。等離子清洗通常涉及以下過程： 1. 無機氣體被激發(fā)到等離子體狀態(tài)。 2.氣相物質(zhì)吸附在固體表面。 3.吸附的基團與固體表面分子反應(yīng)形成產(chǎn)物分子。四。

三、等離子清洗設(shè)備的特點——刻蝕表面刻蝕，刻蝕設(shè)備龍頭在等離子體的作用下，對材料表面產(chǎn)生沖擊，發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng)，表面變得凹凸不平，粗糙度增加。微細加工不會對產(chǎn)品造成傷害，但可以達到理想的蝕刻程度。四、涂層表面涂層 等離子清洗設(shè)備的特點是在材料表面形成一層保護層。在等離子鍍膜中，兩種氣體同時進入反應(yīng)室，由于等離子的作用，氣體發(fā)生聚合反應(yīng)。

3、去除光學(xué)零件、半導(dǎo)體零件等表面的光刻膠物質(zhì)，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備龍頭中微公司去除金屬材料表面的氧化物。 4、半導(dǎo)體零件、印刷電路板、ATR零件、人造水晶、天然水晶、寶石的清洗。 5. 清潔生物晶片、微流控晶片和基板沉積凝膠。 6、封裝領(lǐng)域的清洗和改性，增強其附著力，適用于直接封裝和粘合。 7. 提高對光學(xué)、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、航空航天材料和其他材料的粘合力。

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60 到 90 度之間的溫度比環(huán)境溫度下的等離子腐蝕快四倍。如果您使用對溫度敏感或?qū)囟让舾械慕M件，等離子蝕刻最高可達 15 攝氏度。所有溫度控制系統(tǒng)均已預(yù)先編程并集成到軟件中。可以通過將不同的氣體引入腔體來修改該過程。常見的氣體有 O2、N2、AR、H2、CF4。大多數(shù)實驗室將這五種氣體單獨或組合用于真空等離子清洗設(shè)備。可以說，真空等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝。

公司生產(chǎn)的吸塵器具備在線生產(chǎn)能力，可全自動生產(chǎn)。真空等離子清洗是一種非常環(huán)保節(jié)能的工藝方法，基本不受形狀影響，用于粉末、小零件、片材、無紡布、紡織品、軟管、空洞和印刷品的表面清洗，我可以做到。我們處理電路板等。它是一種無需對零件進行機械改動的非破壞性工藝，適應(yīng)潔凈室等惡劣條件，使用方便、靈活、操作方便，對各種形狀的零件有很大的加工效果。工藝條件。而且成本低。 ，見效且時間短。

加工材料有OPP、PP、PE、PE涂層瓦楞紙板、PET涂層瓦楞紙板、金屬涂層瓦楞紙板、UV涂層瓦楞紙板（UV油固化后不可疊放）、聚酯涂層瓦楞紙板、PP等透明塑料片材，等離子表面處理得到國內(nèi)外知名印刷公司的一致認可和認可，效果良好。等離子表面處理通常涉及以下反應(yīng)過程： 1.首先，無機氣體被激發(fā)成等離子體狀態(tài)。 2.氣相物質(zhì)通過作用吸附在固體表面。 3.吸附劑與固體表面反應(yīng)。

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