真空等離子清洗機工作特點及等離子鞘現象振蕩特點:真空等離子清洗機廣泛應用于電子、通信、汽車、紡織、生物醫藥等領域。

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然而，對于高頻射頻放電，只有等離子體中的電子才能響應射頻電磁場的變化，離子由于慣性大，只能以平均時間響應電場。電子在整個無線電頻段內對射頻場的變化立即作出反應。具體而言，13.56 MHz頻率及其諧波通常用于工業和醫療應用，而其他射頻頻率則用于通信?？臻g等離子體推進器中使用的螺旋波等離子體源也在rf波段工作，通常為13.56 MHz。材料加工過程中使用的等離子體也可以通過直流和低頻放電或微波放電產生。

應用等離子清洗機,起源于20世紀初,與高新技術產業的快速發展,其應用越來越廣泛,已在許多高科技領域,在狀態的關鍵技術,等離子清洗技術對工業經濟和工業社會有很大的影響,第一電子信息產業，特別是半導體和光伏產業。等離子清洗機已經應用到各種電子元器件的制造中，可以肯定的是，沒有等離子清洗機及其清洗技術，就不會有今天如此發達的電子、信息和通信行業。

施加到電極上的負偏壓與射頻電壓一起形成復合電壓，如下圖所示。圖 4. 電極上的直流和交流波形 2.1 對 VDC 元件的影響 2.1.1 混響腔尺寸和蝕刻模式 VDC 是電極和等離子體之間的電壓降。 A1為電極1的面積。 ，A2為電極2的面積，N為指數因子，通常為1，如果電極1通電，電極2接地，這個方程是任意的，其VDC組成如下圖所示?？梢詰玫诫姌O結構。

常用的等離子體激發頻率有三種：激發頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。不同等離子體產生的自偏壓不一樣。超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機制不同。

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等離子體清洗機產生等離子體的裝置是在密封的容器內設置兩個電極形成電場，通信產品附著力檢測配合真空泵達到一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子之間的距離和分子或離子的自由運動距離越來越長。在電場作用下，它們碰撞形成等離子體。這些離子具有很高的活性，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，并在任何暴露的表面上引起化學反應。

其物理化學反應機理是活性粒子與被清洗表面碰撞，通信產品附著力檢測國標污染物從表面分離出來，由真空泵吸出?；瘜W反應機理是各種活性顆粒與污染物反應生成它們。揮發物，然后是揮發物，被真空泵吸出。等離子清洗主要以物理反應為主，本身沒有化學反應，清洗表面不留氧化物，因此可以保持被清洗物體的化學純度。待清洗表面的各種物質選擇性低，腐蝕速度慢。使用化學反應等離子體進行清洗具有清洗速度更快、選擇性更高、去除有機物更有效的優點。