首先是等離子體與物體表面的碰撞,油漆附著力檢查視頻教程這種碰撞的物理反應。不得不說,等離子體與物體表面之間會發生各種化學反應。各種等離子清洗的主要反應不同,不受氣體刺激。成分、使用的氣體、激發頻率和清潔過程中的主要反應非常重要。目前,半導體封裝主要使用氬氣、氧氣和氫氣等氣體。恒定比例的氬氫混合物也可以用作激發氣體來清潔晶圓、引線框架和基板的表面,以去除要清潔的物體。
等離子體清洗機常見主機電源為13.56kHz頻率發射主機電源,油漆附著力檢查視頻教程可產生高等離子體密度、軟能量、低溫,通常功率1~2千瓦,大功率5千瓦,小功率幾百瓦,多功率40千瓦,小功率幾百千瓦,多功率40KHz,中頻40KHz,中頻等離子清洗機主機電源,大功率5千瓦,低功率幾百KHz,多功率40KHz,中頻40KHz,能量軟,溫度低。通常功率1~2千瓦,大功率5千瓦,小功率幾百千瓦,小功率幾百千赫,多為40千赫。
(2)從激發頻率來看,油漆附著力檢查視頻教程可將其分為激發頻率為40kHz的等離子體、激發頻率為13.56MHz的射頻等離子體以及激發頻率為2.45GHz的微波等離子體,實際半導體生產應用中多數采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。(3)從反應氣體種類看,可將其分為反應性氣體被激發產生的等離子體(如O2、H2等)和惰性氣體被激發所產生的等離子體(如Ar、N2等)。前者是化學清洗手段,后者是物理清洗手段。
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電源將被激活,射頻電源將被用來激發反應室中的氣體。在預先設定的時間內,等離子體將在反應室中加工產品。當產品經過等離子體處理后,反應室內的射頻電源將停止。作業煤氣也將被切斷。真空斷路器的截止閥將被打開,以凈化反應室。真空管將被關閉,使先前被阻塞的氣體返回反應室并恢復到大氣壓力。操作員打開反應室的門。處理過的產品可以從真空室中取出,整個過程結束。
等離子體系統可以以各種形式集成,如模塊化系統。下面你可以看到飛秒管等離子體系統最常用的選擇。
常見的等離子清洗機通常有兩種,一種是低壓真空等離子表面處理設備,一種是常壓大氣等離子表面處理設備,分別為真空等離子清洗機和常壓等離子表面處理設備。
原子團等自由基與物體表面的反應 由于這些自由基呈電重型,存在壽命較長,而 且在等離子體中的數量多于離子,因此自由基在等 離子體中發揮著重要作用。
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