因此,安徽射頻等離子清洗機特點在器件制造過程中,需要控制邊緣區域,去除這些堆積在晶圓邊緣的薄膜可以減少制造過程中的缺陷并降低良率。有三種主要方法可以清潔晶圓的外邊緣和斜面。 (1) 化學機械拋光過程中添加的外邊緣和斜面; (2) 濕法蝕刻和清洗; (3) 等離子邊緣蝕刻。等離子邊緣蝕刻具有精確控制邊緣蝕刻面積、更多種類的蝕刻氣體可以處理不同的薄膜、不同的可調參數可以控制對前層的影響等很大的特點。

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FPC種類及工藝,安徽射頻等離子清洗機原理圖你知道的有多少? 一、什么是FPC 柔性電路板是以聚酰亞胺或聚酯薄膜為基材制成的一種具有高度可靠性,絕佳的可撓性印刷電路板。簡稱軟板或FPC。 圖片 特點:具有配線密度高、重量輕、厚度薄的特色;主要使用在手機、筆記本電腦、PDA、數碼相機、LCM等很多產品。 二、FPC的種類 單層FPC 具有一層化學蝕刻出的導電圖形,在柔性絕緣基材面上的導電圖形層為壓延銅箔。

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真空等離子設備的表面處理不僅廣泛應用于手機行業,而且在新能源太陽能電池方面也取得了長足的進步。真空等離子設備表面處理是一種經濟高效的太陽能電池邊緣分離技術,廣泛應用于電池生產線。此外,真空等離子裝置還允許原位微裂紋愈合細胞的邊緣被鋸片損壞,從而降低細胞破裂的(低)風險。我們新的等離子系統將電池組的負載能力提高到每小時 1600 個電池。微波真空等離子設備以高蝕刻率和低溫加工而著稱,易于加工。

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(3)在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩在被處理工件,開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。(4)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。。

安徽射頻等離子清洗機原理圖

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