Ar+e－→Ar++2e－，噴漆和噴塑附著力0級Ar++沾污→揮發性沾污氬氣等離子清洗原理在非反應氣體中，氬氣和氦氣是常用的清洗氣體，其具有優良的物理性質，如擊穿電壓低并且等離子與其他氣體相比相當穩定，氬原子的電離能為15.75eV，氬等離子中含有大量的亞穩態的氬原子，在物理反應清洗中很具優勢。在清洗過程中還可以充入兩種或以上的混合氣體以得到更好的清洗效果。
AMAT的臺面甚至日立的8190XT通過同步脈沖實現了低電子衰落。同步脈沖是指源功率和底電極偏置功率的同步開關。關閉時，噴漆和噴粉哪個附著力更好等離子體清潔器等離子體中的電子大大減少，等離子體由電子-離子型轉變為離子-離子型。同時，由于底部電極表面鞘層的消失，使得更好地控制等離子體中的正負分離成為可能。RLSA通過空間擴散實現離子-離子等離子體，MESA/8190XT通過時間（等離子體切換）實現離子-離子等離子體。
離子化學清洗速度快，噴漆和噴塑附著力0級選擇性好，對有機污染物有良好的清洗效果。等離子體表面活化機表面反應以物理作用為主，常用氬氣，不產生氧化副產物，腐蝕各向異性。在等離子表面活化機的表面改性過程中，化學反應與物理作用相結合，使其具有更好的選擇性、一致性和方向性。 由于工業領域精密化、微小化的發展方向，等離子表面活化機技術以其精細清潔、無損改性的優勢在半導體行業、芯片產業、航空航天等高新技術行業也會有越來越重要的應用價值。
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1.氣瓶減壓閥 氣瓶減壓閥 是將氣瓶中的高壓氣體減壓為低壓氣體的裝置。等離子清洗機中使用的大部分工藝氣體是瓶裝氣體。為保證各氣路部件的工藝穩定性和工作穩定性，高壓氣體通常采用氣瓶減壓器。 2、氣動調節閥 氣壓調節閥是空氣壓力控制的重要裝置，具有將外部壓縮氣體控制在所需工作壓力和穩定壓力和流量的作用。
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因此等離子體發生器的殺菌效果遠高于負離子發生器。2,等離子發生器產生大量的負離子和積極的離子在同一時間,因為負離子的數量遠遠大于積極的離子的數量,所以積極的離子將由負離子中和后生成,因此不能大量的空氣中正離子。正離子和負離子本身是空氣組件的一部分,所以適量的正離子對人體沒有副作用,所以等離子發生器的空氣凈化殺菌同時允許在人類空間,不用于人體。
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