（2）基態的CO2分子吸收能量，圖層附著力儀器使用轉化為激發態的CO2分子。顯然，CO2 的轉化主要依賴于前者。在相同的等離子體條件下，純 CH4 和純 CO2 的轉化率分別為 10.9% 和 9.4%。 C當H4和CO2共供時，CH4和CO2的轉化率高于上述值，說明CH4和CO2共供有利于它們的共活化。隨著系統中 CO2 濃度從 15% 增加到 35%，C2 烴的產率略有??增加。
CO2濃度越高，圖層附著力儀器使用體系中活性氧物種數量越多，在活性氧物種作用下C2H6的C-H鍵及C-C鍵斷裂更加容易。因此，C2H6轉化率隨著CO2濃度的增加而增加。C2H2、C2H4收率隨著CO2加入量的增加呈峰形變化，CO2濃度低促進C2H2、C2H4生成， CO2濃度高則導致活性氧物種數量增多，促使C2H6的C-H鍵及C-C鍵徹底斷裂，C自由基與活性氧物種生成CO。
氬和氦的特性穩定，增加圖層附著力的軟件放電電壓低（氬原子的電離能E為15.57 eV），易形成半穩定原子的物體Ar+與污物碰撞后被放電形成揮發性污點 真空泵一方面避免了表面材料的反應，另一方面，氬氣的使用往往會形成可變穩定性原子，與氧和氦分子的碰撞導致電荷轉換和再生增加。作用于物體表面的活性氧和氫原子。等離子清洗機使用純氫氣清洗表面氧化物，效率很高，但這里主要考慮放電的穩定性和安全性。
等離子清洗/蝕刻機在密閉容器中設置兩個電極形成電磁場，圖層附著力儀器使用利用真空泵實現一定的真空度產生等離子。它形成等離子體，同時產生輝光。等離子機 等離子在電磁場中在空間中運動，撞擊待處理表面，實現表面處理、清洗、蝕刻等效果。與使用有機溶劑的傳統濕法清洗相比，等離子機具有九大優勢： 1.等離子清洗后，待清洗物體干燥，無需進一步干燥即可送至下道工序。
圖層附著力儀器使用
大氣壓等離子體，也是一種低溫等離子體，不會損傷材料表面。沒有電弧、真空室或有毒氣體吸入系統，長期使用不會對操作者造成身體傷害。大氣輝光等離子技能。 RF射頻用作激勵電源，工作頻率為13.56MHZ。生成氣體使用氬(AR)，反應氣體使用氧氣或氮氣。等離子清洗機的優點：主要有腔體式和常壓式兩種，都是直接式等離子。腔體等離子體的一個特點是它需要一個封閉的腔體，并且電極內置在真空腔體中。
等離子體清洗/蝕刻機產生等離子體裝置使用真空泵達到一定的真空度,在密封的容器中,氣體越來越薄,分子之間的距離和自由流動的分子或離子之間的距離也越來越長,電場,它們碰撞,形成等離子體,這些離子的活性很高，能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面上引起化學反應。
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這不僅是因為動力鋰電池是動力驅動系統軟件的關鍵組成部分，還因為動力鋰電池的生產過程本身對可靠性和可靠性有很高的規則。
圖層附著力儀器使用
它導致了血漿發光。溫控系統通常用來控制腐蝕速度。60到90度之間的溫度比周圍環境溫度的等離子腐蝕快4倍。對溫敏元件或使用溫度敏感元件，增加圖層附著力的軟件等離子蝕刻可降至15攝氏度。 所有的溫度控制系統都是預先編程并集成到軟件中。將不同的氣體引入空腔，能夠對過程做好修改。常見氣體有O2、N2、Ar、H2和CF4。大部分實驗室都將這五種氣體單獨或聯合用于真空等離子清洗設備。
