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還有一種等離子體清洗是表面反應機制中物理反應和化學反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表面產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應；其效果是既有較好的選擇性、清洗率、均勻性，又有較好的方向性。典型的等離子體物理清洗工藝是氬氣等離子體清洗。
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當處理時間超過7分鐘時，廣東專業定制等離子清洗機腔體價格合理木材表面的高能電子和離子相對不間斷，蓄能大，存在局部過度腐蝕。由于高能等離子體放電導致木材溫度升高，羧基、羰基和其他顯色基團會導致局部顏色變暗。帶來木材的表面，碳化。因此，木材的低溫等離子放電處理時間為3分鐘為宜。。等離子預處理設備 玻璃蓋板鍍膜前等離子預處理鍍膜：玻璃蓋板鍍膜適用于5G行業，手機蓋板鍍膜，玻璃蓋板鍍膜，顯示器鍍膜，保護層，光學材料鍍膜等。
Mishra等[38] 亦發現,用NH3 等離子體處理聚酰胺纖維,然后用酸性染料染色,能提高色牢度和上色率。3.4在微電子工業中的應用 在高分子領域, 等離子體在微電子工業中主要可用作集成電路制備中硅片表面高分子覆層的刻蝕、去除；改善聚合物電學元件表面電學性能；增加高分子絕緣膜與線路板的粘接等。Thuy[39] 應用O2、Ar、CHF3 混合氣體等離子體選擇性蝕刻集成電路表面殘留的聚酰亞胺覆層。
