1-1 旋片式真空泵旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵，環氧樹脂好還是附著力好其主要的部件有泵體、轉子、旋片、端蓋、繃簧等。旋片式真空泵有單級和雙級兩種，等離子清洗機常用的是雙級旋片式真空泵，所謂雙級旋片式真空泵便是在結構大將兩個單級泵串聯起來。旋片式真空泵的泵腔內偏心地裝有一個轉子，而轉子的外圓與泵腔的內外表相切，一起轉子槽內裝有兩個帶繃簧的旋片。
2）激活鍵能，環氧樹脂附著力和結構交聯作用等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。
例如，環氧樹脂附著力和結構在高頻電場中處于低壓狀態的氧、氮、甲烷、水蒸氣等汽體分子結構在等離子體蝕刻機中。在輝光放電的情況下，可以分解出加速運動的原子和分子結構，生的電子器件和分離點有正負電荷的原子和分子結構。這樣形成的電子器件在電場加速時獲得高能量，與周圍的分子和原子發生沖突，在分子和原子中形成電子器件，自身處于激發狀態和離子狀態，物質存在的狀態是等離子體狀態。等離子體刻蝕機是通過人工方式獲得的。
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在等離子體中，甲烷脫氫產生的C2H6和C2H4與高能電子相互作用形成C2H5和C2H3等自由基，因此甲烷脫氫反應主要產生以下微量C3，由此可以推斷產生了C4產物。
40kHz的自偏置約為0V, 13.56mhz的自偏置約為250V, 20MHz的自偏置更低。這三種激勵頻率具有不同的機制。40kHz的反應是物理反應，13.56mhz的反應是物理反應和化學反應。20MHz有物理反應，但更重要的反應是化學反應。對于需要活化修飾的材料，40kHz的自偏置約為0V, 13.56mhz的自偏置約為250V, 20MHz的自偏置更低。三種激勵頻率具有不同的機制。
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原子團等自由基與物體表面的反應 由于這些自由基呈電中性，存在壽命較長，而且在等離子體中的數量多于離子，因此自由基在等離子體中發揮著重要的作用。
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