等離子體發生器分類等離子體發生器（plasma generator）用人工方法獲得等離子體的裝置。等離子體由自然產生的稱為自然等離子體（如北極光和閃電），海南射頻等離子清洗機代理由人工產生的稱為實驗室等離子體。實驗室等離子體是在有限容積的等離子體發生器中產生的。 等離子體發生器的放電原理：利用外加電場或高頻感應電場使氣體導電，稱為氣體放電。氣體放電是產生等離子體的重要手段之一。
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如此，低溫等離子體需要破壞原有物體表面的化學鍵，繼而形成新的化合鍵，給材料表面全新的特性。低溫等離子體清洗是一種低溫等離子表面改性技術。等離子體清洗是指非聚合性氣體(如He、Ar等不活性氣體以及O2、CO2、NH3等反應性氣體的物理的或化學作用過程。
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