一些主要的蝕刻工藝是： 1.形成反應(yīng)顆粒； 2.反應(yīng)粒子到達晶片表面并被吸附3.晶片表面與化學吸附反應(yīng)形成化學鍵并形成反應(yīng)產(chǎn)物；四。溶液 吸附化學反應(yīng)產(chǎn)物，供應(yīng)等離子清洗系統(tǒng)批發(fā)去除晶圓表面并抽出腔室；示例：SF6 + e-> SF5 + F + e；SF5 + e-> SF4 + F + e；等。F原子到達襯底并與襯底反應(yīng)F+Si->SiF，SiF+F->SiF2；SiF+SiF->SiF4。 1 效果。
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2.低溫寬幅等離子清洗機激發(fā)頻率分類等離子態(tài)的密度和激發(fā)頻率有如下關(guān)系：nc=1.2425×108v2其中nc為等離子態(tài)密度（cm-3），江蘇供應(yīng)等離子清洗機腔體規(guī)格齊全v為激發(fā)頻率（Hz）。常用的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣。
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等離子清洗設(shè)備提高高分子材料表面電導率提高高分子材料的導電性是等離子清洗設(shè)備的應(yīng)用之一。采用高效PET導電膜，江蘇供應(yīng)等離子清洗機腔體規(guī)格齊全材料表面采用等離子感應(yīng)接枝技術(shù)，提高了抗靜電性能，提高了產(chǎn)品的實用價值。二、等離子清洗設(shè)備對材料生物相容性的影響當高分子材料用于生物醫(yī)學領(lǐng)域時，除了強度和彈性的要求外，還有相應(yīng)的生物相容性標準。材料的生物相容性可以從以下幾個方面來理解。
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等離子 等離子清洗設(shè)備的表面改性是低溫等離子與材料表面處理（塑料材料表面處理、金屬制品、鋁材表面處理、印刷包裝、涂層、粘接）等塑料材料橡膠制品表面的相互改性。是動作的鏈接。低溫等離子表面處理），等離子清洗機主要用于清洗材料表面，提高表面的附著力和附著力。等離子清洗機通常用于以下位置： 1。
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