氧自由基在化學反應過程中能量傳遞的活(化)作用，濕滑路面附著力是什么處于刺激狀態的氧自由基能量高，易于與物件表面層分子結構融合產生新的氧自由基。電漿清洗機新產生的氧自由基也處于不穩定的高能狀態，可能會發生分解反應，在變成較小分子的同時生成新的氧自由基。這個反應過程可能會繼續進行，然后分解成H2O、CO2等簡單分子結構。
等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，濕滑路面附著力急劇減從而實現清潔等目的。 等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。
等離子清洗機維修當設備斷電時，濕滑路面附著力是什么要先關閉設備電源，斷電后再打開相應的電源。不能為了防止事故而打開它。。
1-1 旋片式真空泵旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵，濕滑路面附著力急劇減其主要的部件有泵體、轉子、旋片、端蓋、繃簧等。旋片式真空泵有單級和雙級兩種，等離子清洗機常用的是雙級旋片式真空泵，所謂雙級旋片式真空泵便是在結構大將兩個單級泵串聯起來。旋片式真空泵的泵腔內偏心地裝有一個轉子，而轉子的外圓與泵腔的內外表相切，一起轉子槽內裝有兩個帶繃簧的旋片。
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當以這種方式產生的電子被電場加速時，它們獲得高能量并與周圍的分子或原子碰撞。結果，分子和原子中的電子被激發，它們本身變成激發態或離子態。此時，物質存在的狀態是等離子體狀態。在輝光放電的情況下，在高頻電場下處于低壓狀態的氧氣、氮氣、甲烷和水蒸氣等氣體分子被加速分解為原子和分子，產生電子和解離。這些點是帶正電和帶負電的原子和分子。當以這種方式產生的電子被電場加速時，它們獲得高能量并與周圍的分子或原子碰撞。
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