在集成電路的金屬互連和絕緣層保護(hù)過(guò)程中，金屬表面處理熱加工許多高溫過(guò)程都會(huì)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力。由于金屬材料和絕緣材料的熱膨脹系數(shù)不同，這些高溫過(guò)程會(huì)在金屬層鋁或銅中引入較大的應(yīng)力，機(jī)械應(yīng)力的大小與溫度成反比。應(yīng)力引起的金屬層中空洞的形核或長(zhǎng)大是一個(gè)擴(kuò)散過(guò)程，與溫度成正比。在機(jī)械應(yīng)力和擴(kuò)散的共同作用下，應(yīng)力傳遞誘導(dǎo)的空穴形核速率在一定溫度下達(dá)到峰值。這個(gè)溫度取決于導(dǎo)體和周?chē)^緣體的性質(zhì)，一般在150～200℃左右。

等離子體治療的優(yōu)勢(shì)和作用（1）經(jīng)過(guò)等離子體處理后，金屬表面處理熱加工清洗對(duì)象已經(jīng)很干燥，不需要再次干燥；（2）不使用有害溶劑，不產(chǎn)生有害污染物，屬于有利于環(huán)境保護(hù)的綠色清洗方法；（3）無(wú)線電波范圍內(nèi)高頻產(chǎn)生的等離子體方向性不強(qiáng)，可穿透物體的微孔和凹陷處，特別適用于電路板生產(chǎn)中盲孔和微孔的清洗；（4）整個(gè)清洗過(guò)程可在幾分鐘內(nèi)完成，具有效率高的特點(diǎn)；（5）等離子清洗最大的技術(shù)特點(diǎn)是：不分處理對(duì)象，可以處理不同的基底；如金屬、半導(dǎo)體、氧化物和高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等聚合物）均可采用等離子體處理；（6）采用等離子清洗時(shí)，可以改變材料本身的表面性能，如改善表面的潤(rùn)濕性，提高膜的附著力等。

等離子清洗機(jī)的表面處理技術(shù)也適用于生產(chǎn)過(guò)程中附著力不足的金屬材料、玻璃等材料對(duì)接前的處理。此時(shí)可使用清洗設(shè)備進(jìn)行表面活化處理，金屬表面處理公司處理后的粘結(jié)產(chǎn)品附著力強(qiáng)、附著力好，不會(huì)脫落開(kāi)裂。使用等離子清洗機(jī)活化表面后，可保證其氣密性，減少電流泄漏，對(duì)鍵合時(shí)間起到良好作用。

目前，金屬表面處理公司低溫等離子體設(shè)備廣泛應(yīng)用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫殺菌和污染治理等領(lǐng)域。等離子體處理器具有高穩(wěn)定性、高性?xún)r(jià)比、高均勻性等諸多優(yōu)點(diǎn)。獨(dú)特的腔體形狀和電極結(jié)構(gòu)可以滿(mǎn)足不同形狀和材料的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉末和顆粒。

金屬表面處理公司

等離子弧切割是利用高溫等離子弧的熱量使工件缺口處的金屬局部熔化（蒸發(fā)），并借助高速等離子體的動(dòng)量消除熔融金屬，形成缺口的加工方法。等離子弧焊是以等離子弧高能量密度束流為焊接熱源的熔焊方法。等離子弧焊具有能量集中、生產(chǎn)率高、焊接速度快、應(yīng)力和變形小、電弧穩(wěn)定等特點(diǎn)，適用于薄板和箱體材料的焊接，尤其適用于熔化、易氧化、熱敏性強(qiáng)的各種金屬材料（鎢、鉬、銅、鎳、鈦等）的焊接。

可控效果。大氣壓等離子體表面處理器有三種效應(yīng)模式可供選擇。一是選擇氬/氧組合，主要用于非金屬材料，對(duì)表面親水效果要求較高，如玻璃、PET薄膜等。二是選用氬/氮組合，主要針對(duì)各種金屬材料，如金絲、銅絲等。由于氧氣的氧化作用，本方案置換氮?dú)夂罂捎行Э刂茊?wèn)題。三是只用氬氣，僅用氬氣就可以實(shí)現(xiàn)表面改性，但效果相對(duì)較弱。這是特例是少數(shù)工業(yè)客戶(hù)需要有限且均勻的表面改性時(shí)采用的方案。2.安全易用。

3.等離子體的指向性不強(qiáng)，可以深入到物體內(nèi)部的微孔和凹陷處，不必過(guò)多考慮被清洗物體的樣式。此外，這些難清洗部件的清洗效果與氟利昂相似，使用空氣等離子清洗機(jī)可大大提高清洗效率。整個(gè)清洗過(guò)程可在幾分鐘內(nèi)完成，因此具有收率高的特點(diǎn)。4.常壓等離子體清洗機(jī)，不管是金屬、半導(dǎo)體、氧化物還是半導(dǎo)體、氧化物、高分子材料。因此，特別適用于不耐熱、不耐溶劑的材料。

畢竟化學(xué)物質(zhì)可以與金屬板中的材料發(fā)生反應(yīng)，非常快速方便，但也有一個(gè)很大的問(wèn)題：液體的腐蝕是全方位的，很難控制。打個(gè)形象的比方，能不能用板子擋住洪水？答案是否定的，因?yàn)樗畷?huì)繞過(guò)這塊板。然而，用化學(xué)物質(zhì)腐蝕金屬表面有許多缺點(diǎn)。下圖很好地說(shuō)明了這個(gè)問(wèn)題。化學(xué)液體繞過(guò)覆蓋晶圓表面的光刻膠，腐蝕我們不想腐蝕的部分。如果要求電路非常薄，那么這種多余的腐蝕肯定會(huì)影響電路的性能。

金屬表面處理熱加工

對(duì)于許多產(chǎn)品來(lái)說(shuō)，金屬表面處理熱加工無(wú)論是用于工業(yè)、電子、航空、衛(wèi)生等行業(yè)，可靠性都取決于兩個(gè)表面之間的粘附強(qiáng)度。無(wú)論表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料還是它們的組合，等離子體都有潛力提高附著力和產(chǎn)品質(zhì)量。等離子體改變?nèi)魏伪砻娴哪芰κ前踩h(huán)保和經(jīng)濟(jì)的。對(duì)于許多行業(yè)所面臨的挑戰(zhàn)，它是一個(gè)可行的解決方案。。據(jù)外媒thestar報(bào)道，從多方力量競(jìng)購(gòu)Silterra來(lái)看，全球半導(dǎo)體競(jìng)爭(zhēng)正在加速。