活性等離子對(duì)被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,附著力促進(jìn)劑作用使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過抽真空排出,而達(dá)到清洗目的。
CF4和O2進(jìn)入等離子裝置的真空室后,徐州附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理CF4和O2氣體在等離子發(fā)生器的高頻高壓電場(chǎng)作用下發(fā)生解離或相互作用,形成含有游離態(tài)的等離子氣體氣氛。自由基。增加。 , 原子, 分子, 電子: O2 + CF2 & RARR; O + OF + CO + COF + F + E + 等離子體中的自由基和陽離子是上述高分子有機(jī)材料(C, H, O, N) 它發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。孔壁。
通過在微觀層面上的一系列物理化學(xué)作用,附著力促進(jìn)劑作用等離子的表面清洗作用能夠獲得精細(xì)的高品質(zhì)表面。
氣體的反應(yīng)機(jī)理不同,附著力促進(jìn)劑作用活性氣體的等離子體具有很強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)性。具有不同性質(zhì)的氣體有不同的污染物選擇用于清潔。當(dāng)一種氣體被一種或多種附加氣體滲透時(shí),這些元素的組合提供了所需的蝕刻和清潔效果。在等離子體中的離子或高活性原子的幫助下,表面污染物被清除或形成揮發(fā)性氣體。通過真空系統(tǒng)去除揮發(fā)性氣體,達(dá)到清潔表面的目的。
附著力促進(jìn)劑作用
反應(yīng)殘?jiān)鼜谋砻婷撀洹5湫偷牡入x子體化學(xué)清洗工藝是氧等離子體清洗。等離子體清洗的機(jī)理主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化”來去除物體表面的污漬。等離子體產(chǎn)生的氧自由基具有很強(qiáng)的活性,容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等揮發(fā)性物質(zhì),從而清除表面污染物。
(1) 化學(xué)反應(yīng)化學(xué)反應(yīng)中常用的氣體有H2、O2、CF4等。這種氣體在等離子體中反應(yīng)形成高度反應(yīng)性的自由基,這些自由基會(huì)進(jìn)一步與表面反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用金屬材料表面存在的自由基,在高壓下產(chǎn)生更多的自由基,從而使金屬材料在高壓下產(chǎn)生更多的自由基,需要控制更大的壓力才能讓反應(yīng)進(jìn)行。 (2) 物理反應(yīng)等離子體中的離子主要用作純物理撞擊,以去除物體表面上的原子和沉積在物體表面上的原子。
雖然離子體在宇宙的其他地方很豐富,但只存在于地球上的某些環(huán)境中。離子體的自然存在包括閃電和北極光。正如將固體轉(zhuǎn)化為氣體需要能量一樣,產(chǎn)生電離層也需要能量。當(dāng)溫度升高時(shí),物質(zhì)由固體變?yōu)橐后w,然后由液體變?yōu)闅怏w。隨著氣體溫度的升高,氣體分子將分裂成原子。如果溫度繼續(xù)升高,原子核周圍的電子將與原子分離,形成離子(帶正電荷)和電子(帶負(fù)電荷)。這種現(xiàn)象被稱為“電離”。由于電離作用而帶有帶電離子的氣體稱為等離子體。
等離子體清洗/蝕刻生產(chǎn)等離子設(shè)備設(shè)置在密閉容器兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng),利用真空泵達(dá)到一定程度的真空,天然氣越來越薄,分子之間的距離和自由流動(dòng)的分子或離子之間的距離也越來越長,磁場(chǎng)效應(yīng),碰撞和等離子體的形成,輝光會(huì)同時(shí)發(fā)生。等離子體在電磁場(chǎng)的空間運(yùn)動(dòng),并轟擊被處理物體的表面,從而達(dá)到表面處理的效果,清洗和蝕刻等離子體清洗機(jī)有以下九個(gè)優(yōu)點(diǎn):清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗后干燥,無需進(jìn)一步干燥處理即可送入下道工序。
徐州附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理
等離子體中帶電粒子碰撞的一個(gè)特點(diǎn)是遠(yuǎn)距離碰撞比近距離碰撞強(qiáng)得多。碰撞時(shí)間和平均自由程 l 主要取決于遠(yuǎn)距離碰撞。對(duì)于熱等離子體,徐州附著力促進(jìn)劑作用機(jī)理存在三個(gè)重要的弛豫時(shí)間。垂直減速時(shí)間、水平偏轉(zhuǎn)時(shí)間、能量均衡時(shí)間t^。電子和離子的弛豫時(shí)間不同。等離子體以非熱平衡開始,碰撞后電子先達(dá)到熱平衡,然后是熱平衡,然后是電子和離子之間的熱平衡。電導(dǎo)率、滲透率、粘度和熱導(dǎo)率是等離子體傳輸過程的重要參數(shù)。特征之一是雙極擴(kuò)散。
等離子清洗機(jī)在LCD-COG液晶組裝工藝中的應(yīng)用在封裝工藝中適當(dāng)?shù)匾?a href="http://www.92188.com.cn/" target="_blank">等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面處理,附著力促進(jìn)劑作用可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。