目前全自動等離子設備清洗系統大多是基于環保無污染的高壓水射流技術。無臭、無味、無毒的水介質優于化學清洗方法，介質plasma表面清洗機器對環境無污染，更加綠色環保。由于等離子設備清洗系統處于自動化程度較高的階段，系統控制運行相對穩定，改變了傳統清洗過程中監管粗放、調節不嚴的問題。特別是在化工油罐車等危險行業，自動清洗系統大大提高了清洗的安全性。

等離子體光學玻璃鏡片、樹脂鏡片、UV/IR鏡片解鎖等離子體，介質plasma表面清洗機器采用熱轉印工藝，在一定的真空負壓條件下，電氣體可以轉化為能量很高的氣體等離子體，氣體等離子體輕輕清潔樣品的固體表面，導致產品表面超凈有機污染物分子結構的變化，在很短的時間內實現超凈，超凈樣品表面的有機污染物。樣品的表面特性在一定條件下會發生變化。由于采用蒸汽作為清洗介質，可以有效地避免樣品的再次污染。

當等離子體發生器的電流增加(10 ~ 10安瓿)時，介質plasma活化機陰極被快離子轟擊并釋放電子。這些電子在電場的作用下加速到陽極。在陰極附近存在一個電位差較大的陰極電位降區。等離子體發生器電極之間的中間部分為低電位梯度的正柱區，其中介質為非平衡等離子體。正柱中的電子和離子以相同的速度向壁面擴散，在那里它們重新組合并釋放能量(這是在沒有氣體對流的情況下)。在經典理論中，電子密度在截面上的分布是貝塞爾函數的形式。

在相同的存儲介質中，介質plasma活化機環境溫度越高，分子鏈獲得的能量越多，分子鏈段的運動越強，表面極性基團的反轉越快，時效性越顯著。然而，如果存儲環境是親水的，即使在更高的溫度下，也可以抑制聚合物材料表面極性基團的損失。親水性存儲介質有利于材料表面產生極性·75·低溫等離子體對高分子材料表面改性時效性的研究進展/任宇等，基團仍然留在材料表面;疏水存儲環境導致材料表面的極性基團倒轉到基體中。

介質plasma表面清洗機器

石英和陶瓷是常用的媒體窗口數據。此外，電感耦合ICP源還具有電容耦合。介質窗作為線圈與等離子體之間的耦合層，是一個電容。當線圈的輸出電壓達到2000V時，就會形成電容耦合。這種電容性高電壓可以點燃和維持等離子體放電，另一方面，部分高電壓的形成也會引起介質窗的蝕刻，從而形成顆粒可能構成晶圓沾污。以減少體積一般采用線圈末端串聯的法拉第屏蔽或接地電容。圖9法拉第屏蔽ICP源結構。

通過比較不同內鞘層的玻璃戒指,發現不同大小的玻璃戒指鞘層的分布粒子徑向約束,進一步分析實驗結果,發現在相同的實驗條件下,不同玻璃環直徑沒有影響等離子體鞘層厚度,護套厚度和壓力、放電功率、介質材料等，取決于等離子體參數。比如電子密度和電子溫度。研究結果對進一步研究不同結合條件下帶電粒子在等離子體鞘層中的復雜運動以及等離子體鞘層對加工的影響具有重要意義。。

強表面蝕刻等離子清潔功能 強等離子清洗機,大量等離子體離子的激發態分子、自由基等活性粒子,固體樣品表面效果,不僅除了最初的表面污染物和雜質,并產生蝕刻效果的材料表面加工達到點蝕蝕刻的效果，形成許多細微的凹坑，增加了材料的比表面。提高材料之間的附著力和耐久性以及材料表面的潤濕性。

鋁合金經大氣等離子體表面處理器射流清洗后，表面可自由強化，這主要是由于等離子體表面N元素粒子、表面氧原子和活性物質的氧化作用。大氣等離子體表面處理對船體鋼表面粗糙度影響不大。顯然，經過等離子表面處理器的清洗后，材料表面的油污染物被去除，從而提高了材料表面的親水性，從而增加了表面自由能。

介質plasma活化機

典型的組合如下:1。DI A泵(如旋轉葉片泵)產生預真空。它被稱為“前泵”。作為第二泵，介質plasma活化機采用羅茨泵提高泵速。羅茨泵的工作原理，也被稱為搖臂柱塞泵或羅茨鼓風機，是旋轉柱塞泵，兩個對稱設計的旋轉或滾動活塞在一個輸送箱中向相反的方向滾動。轉子的橫截面約為8，并通過齒輪傳動同步，使他們留下小間隙，因為他們通過彼此和墻壁的住房，而沒有接觸到對方。吸氣法蘭中的容積在活塞位置I和II處增大。

近十年來，介質plasma表面清洗機器在不同規劃的托卡馬克裝置上完成了各種改進的等離子體結合操作模式，形成內部和邊界輸運屏障，使某些區域和輸運通道(主要是離子熱輸運)的輸運系數降低到新古典理論預測的水平。聚變三重產物達到或接近達到氘氚熱核聚變反應得失的等效條件，與氘氚聚變點火條件相差不到一個數量級，表明托卡馬克具備了研究燃燒等離子體物理和聚變反應堆集成技術的條件。