金屬改性低溫等離子體表面處理機的低溫等離子體在輝光放電條件下電離空氣。經過幾年的研究和開發，親水性二氧化硅的優缺點等離子體與物體表面的瞬時接觸溫度已經控制在70度左右，甚至研制出了旋轉噴嘴，使離子溫度在室溫下達到40 ~ 60度。目前，金屬表面處理已經形成了一個獨立的研究方向，即表面處理。金屬表面改性有利于噴涂、印刷、粘接等工藝:材料表面改性包括化學方法和物理方法。

壓焊前清洗:清潔焊盤，親水性二氧化硅的優缺點改善焊接條件，提高焊線可靠性及良率。塑封：提高塑封料與產品粘結的可靠性，減少分層風險。BGA、PFC基板清洗：在貼裝前對基板上的焊盤進行等離子體表面處理，可使焊盤表面達到清潔、粗化和活化的效果，極大地提高了貼裝的一次成功率。引線框架清洗：經等離子體處理可達到引線框架表面超凈化和活化的效果，提高芯片的粘接質量。

等離子體清洗機在半導體封裝中的應用:(1)等離子體清洗機銅線框:銅氧化物等有機污染物會導致銅線框的密封成型和分層，親水性二氧化硅的優缺點導致密封性能差，密封后長期通風，影響芯片粘接和接線質量。(2)等離子清洗機的鉛組合:鉛組合的質量對微電子設備的可靠性有著決定性的影響。組合區域必須無污染物，具有良好的組合特性。氧化物、有機污染物等污染物的存在嚴重削弱了鉛組合的拉伸值。

工業不僅可以精確控制表面拓撲結構，親水性二氧化硅粘接還可以選擇是否形成復合層，在不改變表面結構特性的情況下控制復合層的厚度和擴散層的深度增加。如果金屬表面有狹縫或孔洞，則可以通過此工藝輕松實現氮化。傳統等離子滲氮工藝選擇直流或脈沖反常輝光放電..該工藝對于低合金鋼和工具鋼的滲氮是可以接受的，但不適用于不銹鋼，尤其是具有奧氏體結構的鋼。由于CrN采用高溫氮化處理，金屬表面堅硬耐磨，但有易腐蝕的缺點。

親水性二氧化硅的優缺點

此外，硅橡膠真空等離子體處理設備還具有以下特點：1）適用于硅橡膠制品的大部分形狀，尤其是相關制品的三維形狀，加工無死角；2）處理溫度低，可使用溫控裝置，材料表面不易因溫度過高而變形變色；3）可選擇性地引入不同的工藝氣體，利用不同等離子體的特性實現處理目的；當然，低壓真空等離子體處理方法也有一定的缺點，比如抽真空，線上手段實現相對困難；它不是很適合電線和管狀硅橡膠制品。

采用這種方法，在等離子表面處理裝置上完成了氣道壓力信息提示。壓力表通常安裝在壓力調節閥的埋孔內。優點是調整時可以直接觀察壓力。除了安裝壓力表外，還可以安裝壓力傳感器來完成氣壓顯示，但壓力傳感器通常配備控制模塊或信息提示模塊。這種方法的優點和缺點是控制面板中的信息可以直接顯示在小型真空等離子表面處理設備上，但增加了編程的復雜性和成本。因此，它很少用于等離子清洗工藝，除非有特殊要求。

5 硬盤用等離子清洗來去除由上一步濺鍍工藝留下的殘余物, 同時基材表面經過處理, 對改變基材的潤濕性、減小摩擦, 很有好處。6 去除光致抗蝕劑在晶片制造工藝中, 使用氧等離子體去除晶片表面抗蝕刻 (photoresist) 。干式工藝唯一的缺點是等離子體區的活性粒子可能會對一些電敏感性的設備造成損害。

電子與表面的相互作用一方面，物體表面的撞擊可以促進吸附在物體表面的氣體分子的分解或吸附，另一方面，大量的電子撞擊有利于引發化學反應。由于它們的質量很小，電子比離子運動得快得多。當等離子體作用時，電子比離子先到達表面，并給表面帶負電荷，這有利于引發進一步的反應。

親水性二氧化硅粘接

1、Plasma清洗原理Plasma又稱電漿，親水性二氧化硅粘接是紫外線發熒光的產物，繼固體、液體、氣體之后，電漿體是物質的第四態。電漿是一團帶正、負電荷之粒子所形成的氣體，還含有中性的氣體原子、分子及自由基。

正常情況下，親水性二氧化硅粘接等離子清洗機中的氧自由基總量多于離子，呈電中性，使用壽命相對較長，能量相對較高。