等離子可以適用對物體表面的蝕刻活化清洗等目的通過對物體表面進行等離子轟擊，可以達到對物體表面的蝕刻，活化，清洗等目的。可以顯著加強這些表面的粘性及焊接強度，等離子表面處理系統現正應用于LCD、LED、IC、PGB，引線框架，平板顯示器的清洗和蝕刻。
電子、航空、健康等行業，可靠性都依靠于兩個表面之間的粘結強度。不管表面是金屬、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的復合物，等離子體都有潛能改進粘著力，提高產品質量。等離子清洗機處理產品表面是節能的、環保的、經濟的。
根據用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗設備，并可通過選用不用種類的氣體，調整裝置的基本結構大致是相同的，一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電擊、氣體導入系統、工作傳送系統和控制系統等部分組成。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。
給一組電極通上射頻電源，電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對物體表面進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到表面處理的目的。等離子可以適用對物體表面的蝕刻活化清洗等目的00224582