（1）化學反應在化學反應里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（02）、甲烷（CF4）等，涂料的附著力機理這些氣體在電漿內反應成高活性的自由基，其方程式為：這些自由基會進一步與材料表面作反應。其反應機理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學反應，在壓力較高時，對自由基的產生較有利，所以若要以化學反應為主時，就必須控制較高的壓力來近進行反應。

真空等離子體清洗過程中，涂料的附著力機理主要依靠活性粒子的“粘附”來去除物體表面污漬。從反應機理看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發成等離子體態；氣相物質吸附在固體表面；吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子；分子分析產物形成氣相；反應殘留物與表層分離。

不同等離子體的自偏壓不同，聚甲醛塑料上涂料的附著力超聲等離子體的自偏壓在0V左右，射頻等離子體的自偏壓在250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子體的機理不同。超聲等離子體發射射頻等離子體的反應是物理反應，射頻等離子體的反應是物理反應和化學反應，微波等離子體的反應是化學反應。超聲等離子體清洗對被清洗表面的影響最大，因此在實際半導體生產應用中多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。

當然等離子清洗機一方面利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，聚甲醛塑料上涂料的附著力Ar+轟擊污垢形成揮發性污垢，用真空泵抽走，避免了表面物質的反應；另一方面，亞穩原子容易利用氬形成，然后與氧和氫分子碰撞時發生電荷轉換和結合，形成氧氫活性原子作用于物體表面氫氣屬于不穩定氣體，主要用于還原，清洗掉金屬表面的氧化物。

聚甲醛塑料上涂料的附著力

在活性CO2催化CH4氧化制C2烴中，La203/ZnO對C2烴的選擇性可達97%（在850℃下甲烷轉化率為2.1%）。馬拉菲等人。研究表明，在電暈放電條件下，LA203基催化劑具有較高的CH4轉化率（27.4%）和C2烴產率（10%）。因此，研究了La、Ce、Pr、Sm、Nd負載的稀土氧化物催化劑在等離子體作用下對CO2氧化CH4制C2烴的催化作用。

應用低壓等離子機航天等離子技術清洗皮套電連接器；航空航天制造業屬于高技術領域，對許多產品的性能和質量都有很高的要求。航空航天制造業的皮口和電連接器就是其中的兩種，需要通過低壓等離子機進行表面處理，以提高產品的性能，滿足用戶的需求。我們來看看航天等離子體技術的這方面。

在這種情況下，只使用一臺抽真空泵會減慢抽真空速度，增加抽氣時間，影響處理效率。因此，為了提高真空泵的轉速，一般都配備大腔真空等離子表面處理機真空泵。使用兩個或多個真空泵組成一系列真空泵。這樣可以大大提高真空泵的轉速。真空表面等離子處理設備中使用的真空泵組件一般分為三類。一種是旋片真空泵和羅茨泵油泵組，另一種是干式真空泵+羅茨泵干泵泵組。它也是分子泵和分子泵的機械泵組。

等離子體放電過程中發生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反響器內所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分化成氧原子，之后通過三體碰撞反響形成臭氧分子，一起也發生著臭氧的分化反響。臭氧，化學分子式為03，又稱三原子氧、超氧，因其相似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分化。

聚甲醛塑料上涂料的附著力