在線真空等離子清洗機工作原理及其結構示意圖在線真空等離子清洗機是在現有成熟的等離子體清洗工藝技術和設備制造基礎，增加設備自動化功能，結合目前研制的常規等離子清洗設備，制造出的適用于大規模生產的集成電路在線式等離子清洗設備。系統采用全自動運行方式，可與上下游生產工序連線，滿足器件封裝行業大規模生產要求，徹底去除表面有機污染物氧化物等的微殘留顆粒和有機薄膜，大幅度改善表面性質，提高后續工序中如焊接、封裝、粘結的可靠性，從而保證電子產品在惡劣環境狀況下的高精度和高可靠性。
在線真空等離子清洗機工作原理如下：
在線真空等離子清洗機結構如圖所示，總體分為四個部分：設備主體、上下料系統、物料傳輸系統和等離子清洗系統。
在線真空等離子清洗機結構示意圖在線真空等離子清洗機工作原理：上下料系統實現料盒的自動存取功能，物料傳輸系統則將單個物料從料盒中取出，以四張為一批送入等離子腔體，隨后等離子清洗系統完成四張物料的清洗工作，再由物料傳輸系統將清洗后的物料送回料盒中，并重復以上流程直到料盒中所有物料清洗完畢。設備主體則為以上三個系統提供結構安裝平臺，同時承載相應的電氣控制元件。
在線真空等離子清洗機系統中各個機構說明如下：
1)上料臺：主體為鋁制板材，用來放置未清洗物料料盒，通過電機帶動皮帶將料盒移動到料盒夾中。
2)下料臺：同樣采用鋁板搭構，用來放置清洗后物料料盒，通過電機帶動皮帶將料盒從料盒夾中取出。
3)過度橋：鋁型材為支撐柱，在鋁板上安裝陶瓷軌道，軌道數量可根據客戶需求調整，物料通過此橋往返于料盒與里外托盤之間。
4)料盒夾：主體為無桿氣缸，通過氣缸伸縮動作實現夾緊及釋放料盒功能。
5)料盒垂直移動機構：由電機及絲杠組成，被料盒夾夾住的料盒通過此機構實現垂直與地面的豎直方向運動，使料盒中每層物料都可被推桿機構推出。
6)料盒：生產線中物料（引線框架或PCB板）承載籃具，料盒豎直方向分為十六到四十層，每層水平放置一張料片。
7)推桿機構：由電機、絲杠及推桿組成，當料盒中料片與過度橋上軌道對齊后，推桿通過沿水平方向左右往返運動將料片推到過度橋軌道上。
8)料盒水平移動機構：由電機及絲杠組成，被料盒夾夾住的料盒通過此機構實現垂直與推桿運動方向的前后運動，使料盒中物料水平分布到過度橋的軌道上。
上述八個部件實現了系統中料盒上下搬運以及料盒中物料取放的全自動工藝。在線真空等離子清洗機工作原理及其結構示意圖00224390