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）、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、氧氣(O2)、氫氣(H2)等活性氣體，清洗過程中不同種類的氣體反應(yīng)機(jī)理不同。 ，惰性氣體等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)性。這將在后面結(jié)合具體的應(yīng)用示例進(jìn)行介紹。。在科技飛速發(fā)展的時代，等離子清洗技術(shù)的出現(xiàn)極大地提高了企業(yè)的生產(chǎn)效率。在使用新技術(shù)設(shè)備時，小編發(fā)現(xiàn)很多人都會有這樣的顧慮：等離子清洗機(jī)對人體有害嗎？本章主要介紹安全使用等離子機(jī)必備的相關(guān)知識。
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