其等離子清洗機的效果與特點主要體現(xiàn)在以下幾個方面: (1)清洗后的材料表面基本沒有殘留物,電泳漆附著力不強并且可以通過選擇、搭配不同的等離子體清洗類型,產(chǎn)生不同的清洗效果,滿足后續(xù)處理工藝對材料表面特性的多種需求; (2)由于等離子體的方向性不強,因此方便清洗帶有凹陷、空洞、褶皺等復雜結構的物件,適用性較強; (3)可處理多種基材,對待清洗物件的要求較低,因此特別適合清洗不耐熱和溶劑的基體材料; (4)清洗過后無需干燥或其他工序,無廢液產(chǎn)生,同時其工作氣體排放無毒害,安全環(huán)保; (5)操作簡便、易控、快捷,對真空度要求不高或可直接采用大氣壓等離子體清洗工藝,同時此工藝避免了大量溶劑的使用,因此成本較低。
(3)無線電波范圍內(nèi)的高頻等離子體與激光等直射光不同,電泳漆附著力不強其方向性不強,因此能夠深入物體的細孔和凹陷內(nèi)部完成清洗任務,因此不必過度考慮被清洗物體形狀的影響,這些難以清洗的部分的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似(4)整個清洗工藝流程在幾分鐘即可完成,因此具有效率高的特點。(5)等離子清洗所需真空度約為 Pa,在工廠實際生產(chǎn)中易于實現(xiàn)。設備成本較低,清洗過程無需使用昂貴的有機溶劑,運行費用較傳統(tǒng)清洗工藝低。
其清潔優(yōu)勢主要體現(xiàn)在以下幾個方面:1.清洗后材料表面無殘留物,電泳漆附著力不強選擇搭配不同的等離子清洗類型可產(chǎn)生不同的清洗效果,滿足后續(xù)需要處理工藝對材料表面特性的各種要求。2.由于等離子體的方向性不強,便于清洗凹陷、孔洞、褶皺等結構復雜的物體,適用性強。3.可處理多種基材,對被清洗對象要求低,因此特別適合不耐熱、不耐溶劑的基材材料清洗。4、清洗后無需烘干等工序,無廢液產(chǎn)生,工作氣體排放無毒,安全環(huán)保。
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電泳漆附著力比噴漆如何
3 Plasma 必須滿足約束條件等離子體清潔器中等離子體的存在具有空間和時間限制。如果電離氣體的空間尺度不滿足等離子體存在的空間極限,或者如果電離氣體存在的時間短于等離子體時間尺度的下限,則這種電離氣體是等離子體。通俗地說,等離子體是一種電離氣體,但電離氣體不一定是等離子體。科技,精準到每一個小顆粒!用于等離子清洗機的電離氣體包括等離子氣體和普通電離氣體。。
IC包裝的形式很多,在科技進步的同時,也發(fā)生了快速的變化,但其生產(chǎn)過程包括芯片放置框架內(nèi)的導線鍵、密封固化等,但只有包裝滿足實際應用的要求,才能成為終端產(chǎn)品。低溫等離子體表面清洗機主要用于先進的晶圓包裝應用,可明顯減少化學和耗材的使用,保護環(huán)境,減少設備的使用成本。
等離子工作形態(tài)以炬式較為常見(產(chǎn)品如右圖),條狀放電模式使得表面處理后均勻性不高。設備工作過程中會產(chǎn)生超標的臭氧與氮氧化物等對人體有害的氣體,必須要配套廢氣排放系統(tǒng)一同工作。因為上述特性,Corona等離子主要適用于對處理效果要求不高,并且后續(xù)運行成本低的行業(yè)(可使用空氣),比如紡織業(yè)等。 1.2Glow等離子。主要分為兩種方式,即腔式與大氣壓式,此兩種等離子技術均為直接式等離子。
其中,物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面,使污染物脫離表面最終被真空泵吸走;化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質,再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質,從而達到清洗目的。我們的工作氣體,經(jīng)常用到氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、甲烷(CF4)等。
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