13.56MHz等離子體電場中的頻率振蕩較高,射頻等離子清洗機價位相對于40KHz射頻等離子而言電子在轉變方向之前的運動距離更短。這意味著在每個運動周期中能夠到達器件表面的粒子數量更少,因此表面受到粒子撞擊減少,從而降低了清洗的效率和效果,直接影響產品質量和產量。40KHz射頻等離子體是最廣泛使用和通用性好的等離子體技術,它應用于半導體、微電子、醫療和通用工業的寬廣領域內。
當電流相同時,河南射頻等離子清洗機價位射頻等離子體鞘和等離子體區的分布比例基本相同。當電流密度為0.06A/cm2時,當放電間隙逐漸增大時,實驗和計算都表明鞘層開始逐漸增大,而當極板間隙增大到500μm時,鞘層厚度基本保持在215μm以內保持不變。對等離子區的厚度來說,從 μm到900μm都是單調增加的。
該裝置放棄了大面積均勻性的要求,河南射頻等離子清洗機價位在直徑2mm的范圍內,采用CF()/He作為放電氣體和70W的射頻功率,在硅片上本得了5nm/s的刻蝕速率。這種裝置可以認為是n-TECAPPJ所用裝置的前身。由于其消耗的平均功率非常小,所產生的等離子體射流對環境以及被處理材料表面幾乎沒有什么熱效應,因此可以將其稱為“冷等離子體射流”。
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三、電漿清洗機適用行業 制藥、印染、制造、化工、化纖等行業在運作過程中會產生大量揮發性有(機)污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒法等,對于低濃度的VOCs很難實現,而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題,利用電漿清洗機處理VOCs可以不受上述條件的限制,具有潛在的優勢。
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PCB & FPC 行業解決方案-等離子清洗 PCB & FPC 專業應用1、多層柔性板去除殘留物:適用于環氧樹脂膠(EPOXY)、亞克力膠(Acryl)等膠粘系統。與化學溶液相比,它更穩定、更完整,可以顯著提高產量。 2.軟板、硬板除膠:徹底去除浮渣,避免高錳酸鉀溶液對軟板PI的侵蝕,均勻腐蝕孔壁,提高孔鍍層的可靠性和良率。
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