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等離子體表面處理通常包括以下幾個反應過程：1、首先無機氣體被激發為等離子態；2、通過作用讓氣相物質被吸附在固體表面；3、被吸附物質與固體表面分子反應生成產物分子；4、之后產物分子再解析形成氣相，以此達到反應殘余物脫離表面的效果。。
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