它是根據(jù)線上等離子清洗系統(tǒng)的機械系統(tǒng)，改進薄膜附著力參考單獨等離子清洗，采用全自動化運行方式，可以與上游和下游生產(chǎn)工藝相連接，滿足器件封裝行業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)的需要。可以除去小殘留物及污垢尺寸小于1um的有機薄膜，大大改進了表面性能，提升了后續(xù)焊接、封裝連接等后續(xù)工藝的可靠性，從而保證了電子產(chǎn)品的高精度、高可靠性。

特別是對于大晶圓，改進薄膜附著力的措施它會影響等離子體的均勻性。目前為IED改進的商用機是東京電子開發(fā)的CCP機，其上電極采用負直流脈沖，主要用于刻蝕超高縱橫比存儲器介電材料。... ..該機制是在RF同步脈沖關(guān)閉時增加DC量，從而增加離子沖擊能力和電荷中和能力。在ICP的方向上，學(xué)者們也提出了類似的想法。也就是說，在同步脈沖的基礎(chǔ)上，直流電通過上電極（負極）或下電極（正極）。

等離子清洗技術(shù)對工業(yè)經(jīng)濟和人類文明的影響最大，改進薄膜附著力其中電子信息產(chǎn)業(yè)，尤其是半導(dǎo)體和光電子產(chǎn)業(yè)最先得到推廣。等離子清洗已用于各種電子元件的制造。如果沒有等離子清洗技術(shù)，相信今天就不會有如此發(fā)達的電子、信息和電信行業(yè)。等離子清洗技術(shù)還應(yīng)用于光學(xué)工業(yè)、機械/航空航天工業(yè)、聚合物工業(yè)、污染控制工業(yè)和測量工業(yè)，是產(chǎn)品改進的關(guān)鍵技術(shù)。

尤其是干墻發(fā)展迅速，改進薄膜附著力的措施等離子清洗具有明顯的優(yōu)勢，可以幫助改進它。用于芯片和焊盤的導(dǎo)電粘合劑。在半導(dǎo)體器件、微機電系統(tǒng)、光電子元件等封裝學(xué)科的封裝領(lǐng)域推廣應(yīng)用前景廣闊。 2、等離子清洗設(shè)備在半導(dǎo)體封裝中的應(yīng)用 （1）銅引線框：氧化銅等有機污染物導(dǎo)致密封成型和銅引線框脫層，導(dǎo)致封裝后密封性能和長期性加劇。脫氣量也影響芯片鍵合和引線鍵合的質(zhì)量。

改進薄膜附著力

學(xué)院派在EED方向的改進還有串聯(lián)式ICP( Tandem)以及利用脈沖產(chǎn)生負離子然后經(jīng)過Beam能量控制區(qū)形成中性粒子束蝕刻，不過后者的選擇比是薄弱環(huán)節(jié)在IED方向原則上超高頻射頻源可以實現(xiàn)狹窄的離子能量峰，有助于高蝕刻選擇比的實現(xiàn)，可是通常超高頻射頻會帶來駐波效應(yīng)等影響等離子體的均勻性，特別在大尺寸晶圓上。

以及改進產(chǎn)品的重要技術(shù)，如光學(xué)元件涂層、延長模具和加工工具壽命的耐磨層、復(fù)合材料中間層、機織物和隱藏鏡片的表面處理、微傳感器制造、超微力學(xué)加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼和心臟瓣膜的耐磨層等。該領(lǐng)域是等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固界面化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的新興領(lǐng)域。它是一個需要跨越很多領(lǐng)域的高科技產(chǎn)業(yè)，包括化工、制品、電機等領(lǐng)域，所以它會有很大的挑戰(zhàn)和機遇，因為半導(dǎo)體和光電材料未來會發(fā)展很快。

該產(chǎn)品是多道機械處理工序，化學(xué)表面預(yù)處理工序與各種表面成膜和涂飾處理工序的配合與配合，即使工序間也要正確地清洗，只有經(jīng)過苛刻的技術(shù)措施和工序機制能夠?qū)崿F(xiàn)目的。 等離子體發(fā)生器中電子與原子或分子之間的碰撞，可產(chǎn)生激發(fā)態(tài)的中性原子或原子團(亦稱羥基自由基)，它們與污漬分子發(fā)生（活）化反應(yīng)，使污漬從金屬表面分離出來。

因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;七、使用電路板等離子清洗機，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生八、等離子清洗機可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。

改進薄膜附著力的措施

拋光和銅粉不應(yīng)聚集在覆蓋層的邊緣并提起銅皮。常見缺陷及預(yù)防措施： 1.表面有水滴的痕跡。這時要確保海綿滾筒不要太濕，改進薄膜附著力定期清洗，擠出水分。 2.徹底清除氧化水并檢查刷輪上的壓力。如果傳輸速度太快就足夠了。 3﹑黑化層沒有清除干凈4﹑由于涂刷不均勻，可用單片銅箔檢查涂刷是否均勻。 5﹑因紙板起皺和斷線。。家電制造商每天生產(chǎn)許多家用電器。不同材料的可靠粘合是家電制造過程中最重要的工藝問題。