旋片式真空泵有單級和雙級兩種，附著力大于向心力等離子清洗機常用的是兩級旋片式真空泵，所謂的兩級旋片式真空泵就是在兩個單級泵串聯的結構中?；剞D葉片真空泵的泵腔內偏心安裝有轉子，且轉子的外圓與泵腔內表面相切，轉子上設有兩個彈簧槽。轉子轉動時，靠離心力和彈簧的彈性力保持旋轉葉片的頂部與泵腔壁接觸，轉子轉動時帶動旋轉葉片沿泵腔壁滑動。

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