能量被聚合物吸收后，磁控濺射附著力好不好會產生化學性質非常活潑的自由基，并容易與等離子體中的氣體發生反應，產生揮發性氣體。快離子與中性粒子碰撞產生的中性自由基在等離子脫膠機中不斷地與樣品表面碰撞，在等離子脫膠機中進行電荷交換和能量轉移，并在粒子之間進行。 動能和振蕩動能以溫和的方式加熱表面，解離和激發態產生的自由基以平移或振蕩方式傳遞熱量。當能量超過閾值時會發生自由基濺射。
當一個離子或中性粒子入射到一個表面時，磁控濺射附著力好不好它的一些能量被傳輸到幾個目標原子，其中一些在晶格達到熱平衡之前被釋放出來，這稱為濺射。濺射是一種閾值，即當入射粒子的能量大于一定閾值(通常為5 ~ 50eV)時發生濺射。4)化學濺射。發生在等離子體裝置表面的化學過程。主要是由表面催化作用引起的。當顆粒落到表面時，表面發生化學反應產生揮發性產物并釋放。這個過程被稱為化學濺射。5)后向散射、再發射和注入。
由于電子非常微小，磁控濺射附著力好不好它們比離子的移動速度快得多，當等離子體作用時，它們比離子先到達物體表面，使物體表面帶負電荷，這有利于觸發進一步的反應。離子與物體表面的相互作用:通常是指帶正電的陽離子的作用，陽離子往往加速進入帶負電的表面，使表面獲得相當大的動量，足以撞擊去除表面上的微粒物質，我們將這種現象稱為濺射現象，而通過離子的沖擊可以極大地促進表面化學反應發生的風險。
否則，濺射附著力和粗糙度會破壞燃燒器，造成很多不必要的損失。5.進行定期維護和保養。在等離子清洗機上進行維修保養的時候，要先把設備的電源關機，待斷電后才能進行相應的開啟，一定不能帶電開啟，以防發生意外。。
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還有的情況是，自由基與物體表面的分子結合時，會釋放出大量的結合能，而結合能又成為引發新的表面反應的驅動力，從而引發物體表面物質的化學反應而被清除。電子與物體表面的相互作用電子對物體表面的撞擊，一方面可以促進吸附在物體表面的氣體分子分解或解吸；另一方面，大量的電子撞擊有利于引發化學反應。由于電子的質量極小，它們的運動速度比離子快得多。
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