由此產生的等離子體密度可以達到1017-1018m^3，油漆底材附著力不好的原因電子溫度2-4eV，直徑30cm。由于很容易在寬壓力范圍（1 至 40 Pa）內獲得大直徑、高密度的等離子體，近年來，ICP在半導體等離子處理技術中得到廣泛應用。由c=λν可知，13.56MHz的電磁波波長為22m，比天線的長度還長，所以位移電流可以忽略不計，采用準靜態法處理心臟的磁場。
在利用等離子體對材料進行改性或清洗時，附著力不好表面預處理通常使用的是低溫等離子體，氣體溫度都不會超過 °，這是宏觀上來講的；但從微觀上來講，當等離子體與材料表面發生化學或物理反應時，假如能量在某個局部區域聚集，材料處理時間一旦過長，就有可能對某些材料表面造成損傷。
氫離子等離子發生器電源等離子體放電時選用惰性氣體進行等離子體表面處理，附著力不好表面預處理如果聚合物材料本身含有氧氣，大分子裂解產生大分子碎片，進入等離子體，為等離子體系統提供氧氣，也會產生氧氣等離子體效應。
在線式等離子清洗機與離線式等離子清洗機按照是否在線又可以分為批量離線式等離子清洗機，附著力不好表面預處理和在線式等離子清洗機。隨著等離子清洗技術的大量運用，不同行業對等離子清洗機的需求程度不一樣，促使以前離線式的真空等離子清洗機不在能滿足企業的生產需求，因此在線式真空等離子清洗機便應用而生。批量式等離子清洗機的主要結構包括:反應倉、殼體、控制系統、氣路系統、電源以及真空系統等。
油漆底材附著力不好的原因
材料需要活化（化學），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等離子體清洗，40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56MHz的自偏壓約為250V，20 MHz的自偏壓更低，這三種不同激發速率的體系是不同的。
在高壓電極和接地電極之間施加高頻和高頻交流電，使兩個電極之間的氣體電離，形成等離子體區域。等離子體在氣流的驅動下到達被加工物體表面，達到改變物體表面的目的。
其中一種常見結構是螺旋型結構，采用的是圓筒螺旋狀線圈類型，如下圖所示。 另一種常見結構是盤香型結構，采用的是平面盤繞狀線圈類型如下圖所示。 此外，有一種較為特別的盤香型結構是將盤繞狀線圈加入等離于體內部的放電類型，其結構如下圖所示。。
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