因此，電暈機的功率的選擇在清洗前，可以通過仿真合理選擇所需功率，既滿足經濟要求，又保證清洗效果和清洗效率。（2）等離子清洗機時間一般來說，既要保證清洗效果，又要花費較少的時間來提高清洗效率，但花費的時間與各種參數有關。一般功率越大，清洗時間越短，但耗電量越大。功率的增加會使反應室與部件之間的溫度升高，同時還會引起許多其他問題，如部件被損壞、腐蝕等。

只要包裝好，電暈機的注意功能參數就可以成為終端產品，然后投入實際使用。LED封裝技術大多是在分立設備封裝技術的基礎上發展演變而來的，但它又不同于一般的分立設備，具有很強的特殊性。它不僅完成輸出電信號、維持管芯正常工作、輸出可見光等功能，還具有電參數和光學參數的設計和技能要求，不能簡單地為LED封裝分立設備。

蝕刻工藝在集成電路芯片封裝中，電暈機的功率參數不僅可以蝕刻外部的光刻膠，還可以蝕刻底層的氮化硅層。通過調整真空等離子體刻蝕機的某些參數，可以得到特定的氮化硅層形狀，即側壁刻蝕傾角。氮化硅(Si3N4)是目前最熱門的新材料之一，具有低密度、高硬度、高彈性模量、熱穩定性好等特點，在許多領域有著廣泛的應用。氮化硅可以在晶圓制造中取代氧化硅。

在穩態下，電暈機的功率的選擇可以忽略軸對稱、洛倫茲力和軸向熱傳導，在截面上氣體壓力和軸向電場均勻分布的條件下，等離子體發生器根據氣體性質參數和管道的幾何形狀簡化磁流體動力學基本方程，可以計算管道內氣體的速度和溫度分布以及電弧參數。由于電弧內電流密度大，等離子體發生器中往往存在磁流體動力學效應。當外磁場或自身磁場較強時，電弧受到洛倫茲力J&乘以；B（J是電流密度，B是磁感應強度）。

電暈機的功率參數

真空等離子體表面處理設備的消毒特性1.環保性，如醫院臨床常用的雙氧水，經射頻電磁場激發后形成血漿，同時可達到殺滅（細菌）的目的，不產生污垢，對環境不產生二次污染；2.真空等離子體設備在線測試程序可在啟動和殺菌過程中在線測試程序運行參數。

在等離子體體系中，等離子體的主要作用是活化甲烷分子形成CHx自由基，自由基的類型和濃度由等離子體源及其能量相關參數決定；通過其表面性質，可以調節自由基在表面的定向復合反應，為自由基復合傳遞能量。原位發射光譜可用于診斷常壓甲烷等離子體中激發活性物種。

1.表面清洗，在真空等離子體腔內，通過射頻電源在一定壓力下產生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產品表面，達到清洗的目的。2.表面（活性），經過等離子體表面處理的物體，表面能增強，親水性強，提高附著力，附著力。3.表面刻蝕：利用反應氣體等離子體對材料表面進行選擇性刻蝕，刻蝕后的材料轉化為氣相，用真空泵排出。處理后的材料微觀比表面積增大，具有良好的親水性。4.納米（米）涂層。

激勵源是為氣體放電提供能量的電源，可采用不同頻率；真空泵的首要作用是清除副產物，包括旋片機械泵或增壓泵；以及在真空室中具有放電電離的電極。反應氣體轉化為等離子體，反應氣體通常由氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氯化碳等單一氣體，或兩種氣體的混合物組成。等離子體清洗的效果主要取決于許多因素，包括化學物質的選擇、工藝參數、功率、時間、元件放置和電極結構。

電暈機的功率的選擇

利用血漿中的活性自由基對材料表面進行肝素化或接枝抗血栓官能團，電暈機的注意功能參數增加材料表面的有效化學鍵合。材料表面改性的效果由一系列因素決定，包括材料基體的選擇、抗血栓涂層的組成以及改性材料的使用壽命等。動物實驗結果表明：血漿表面活化改性后，肝素包被的聚氨酯導管在使用30d后未出現蛋白質粘附；未包覆肝素的聚氨酯導管經血漿表面改性后僅出現少量蛋白質附著；但未進行等離子表面改性的液體導引管出現了嚴重的血栓。