腐蝕性氣體等離子體具有良好的各向異性，陽極電泳漆附著力的原因能夠滿足腐蝕的需要。當使用等離子體時，會發出輝光，因此稱為輝光放電。輝光放電過程中，電子和正離子在放電管兩極電場的作用下分別向陽極和陰極移動，并在兩極附近聚集形成空間電荷區。因為正離子的漂移速度遠低于電子,正離子空間電荷區域的電荷密度遠遠高于電子空間電荷區域,這樣整個極間電壓幾乎集中在陰極附近的狹窄區域。
當電子、離子和中性粒子（中性氣體）的溫度分別為Te、Ti、Tn時，電泳漆附著力測定這三種粒子的溫度幾乎相等（Te≈Ti≈Tn），稱為熱平衡等離子體。在稱為熱等離子體（熱等離子體）的實際熱等離子體發生器中，流入的工作氣體通過陰極和陽極之間的電弧放電電離，輸出等離子體以射流的形式，可以使用增加。如等離子射流（常壓射流等離子體等離子射流）、等離子炬（等離子炬）等。
輝光放電在兩極電場的作用下，電泳漆附著力測定電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區 。又因為正離子的漂移速度遠小于電子，所以正離子空間電荷區的電荷密度比電子空間電荷區要大得多，讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區域內。這也是輝光放電的顯著特征，而且在輝光正常放電時，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發生變化。
首先，陽極電泳漆附著力的原因操作人員必須經過技術方面的培訓，使他們能夠掌握操作程序，并嚴格按照操作要求使用。 2.在正式使用等離子清洗機之前，必須正確設置操作參數，并按照設備使用說明書仔細操作，不能隨意使用。 3.等離子點火器必須受到保護，以確保等離子清洗機正常打開。但是，可能難以打開或打開異常。四。如果一次風道不通風，確保等離子發生器的運行時間在規定時間內，且不超過設備說明書要求的時間。
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簡單而言，自動清洗臺是多片同時清洗，的優勢在于設備成熟、產能較高，而單晶圓清洗設備是逐片清洗，優勢在于清洗精度高，背面、斜面及邊緣都能得到有效的清洗，同時避免了晶圓片之間的交叉污染。45nm之前，自動清洗臺即可以滿足清洗要求，在目前仍然有所應用；而在45以下的工藝節點，則依賴于單晶圓清洗設備達到清洗精度要求。在未來工藝節點不斷減小的情況下，單晶圓清洗設備是目前可預測技術下清洗設備的主流。
在線真空等離子體清洗機專注于等離子體表面改性或等離子體表面處理應用。它利用等離子體的高能量和不穩定性對被處理材料的表面進行清潔、活化和活化，從而改變表面的微觀結構、化學性質和能量。等離子體與物體表面的相互作用可分為物理作用(離子轟擊)和化學作用。其物理化學反應機理是活性粒子轟擊被清理表面，使污染物從表面被清除，被真空泵吸出。其化學反應機理是各種活性顆粒與污染物發生反應，產生揮發性物質，然后被真空泵吸出。
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2.2 蝕刻機制蝕刻機理的描述適用于所有類型的等離子體技術，而不僅僅是 RIE。一般來說，等離子蝕刻是化學蝕刻，而不是物理蝕刻。即，固體原子與氣體原子反應形成化學分子，這些化學分子從襯底表面去除以形成蝕刻。由于VDC的存在，一般會有一定量的基板濺射，在很多刻蝕中物理刻蝕效果微弱，可以忽略不計。
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