當高能電子與油煙中的分子發生碰撞時，附著力差的路面ABS會發生一系列基本的物理化學反應，反應過程中會產生各種活性自由基和生態氧，即臭氧分解產生的原子氧。活躍的自由基會破壞各種病毒和罰款(細菌)有效核酸和蛋白質,所以它不能進行正常代謝和生物合成,導致其死亡,和生態氧可以快速分解油煙的氣味氣體分子或減少低分子substances.1無害。離心分離段:機械除油技術，風機煤氣動力凈化油煙。
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對等離子體進行未經化學處理的任何一種表面改性方法，附著力差的路面ABS稱為干蝕。在等離子蝕刻過程中，所有等離子清洗的產品都是干腐蝕的。等離子體腐蝕類似于等離子體清洗。而等離子蝕刻則是用來去除已處理表面層雜質。2、將經plasma真空等離子清洗機的氣體引入真空室，并保持內腔壓力穩定。根據清潔材料的不同，可以分別使用氧氣，氬氣，氫氣，氮氣，四氟化碳等氣體。氧-等離子體處理是目前常用的干法腐蝕方法之一。
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一、等離子處理設備的特點1.環保技術:等離子離子處理設備的作用過程是氣固相干反應不消耗水資源，不添加化學藥劑，不污染環境2.廣泛適用性：可很好地處理金屬復合材料、半導體材料、金屬氧化物和絕大多數聚合物材料，而與被加工物體的類型無關。
在DBD電極結構中，管路電極結構也可用于制作臭氧O3發生器。如今DBD的研究和應用越來越受到人們的重視。
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