根據氣體的性質，氬氣等離子體表面活化等離子體可分為以下兩種類型:氣態等離子體和非氣態等離子體，氣態等離子體根據其所使用氣體的化學性質不同又可分為惰性氣體和活性氣體。惰性等離子體如氬氣(Ar)、氮氣(N2)、氟化氮(NF3)、四氟碳(CF4)、空氣等，氣態等離子體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等。在清洗過程中，不同類型的氣體反應機理不同，活性等離子體對化學反應有很大的影響。由于氣體的性質不同，用于清洗的污染物必須有不同的選擇。
等離子體處理后的表面具有更高的表面能，氬氣等離子體表面活化能有效地與塑料密封材料結合，減少塑料密封過程中的分離和針孔現象。氬氣可以在等離子體環境中產生氬氣離子，并利用在材料表面產生的自偏置進行濺射，消除(去除)表面對外來分子的吸附并能有效去除表面的金屬氧化物——在微電子過程中，線前等離子體處理就是這種工藝的典型代表。
一般處理主要有兩個方面，氬氣等離子去膠設備一是除去磷化面(機)層，二是除去氧化物。借助等離子清洗機，可被(機)表面離子轟擊污染;在真空中，污染物在高效能粒子的影響下部分蒸發，污染物由于受到高效能粒子的影響質量被吸走了。金屬氧化物與處理過的氣體(通常是氬氣和氫氣)發生離子反應。有時使用兩步處理。首先在氧氣中氧化5分鐘，然后用氫氣和氬氣的混合物除去。你也可以同時使用幾種氣體。
氣體的流動方向會形成氣場，氬氣等離子去膠設備影響等離子體的運動、反應和均勻性。產品植入后，會影響電場和氣場特性，導致能量分布不均，局部等離子體密度過大而燒板。除上述因素外，已證明等離子清洗機的處理時間、工頻、車型等也對產品的處理效率和變色有影響。。手表配件采用精密零件等離子處理設備，表面清洗處理有兩根氣管，容易被氧化的材質，可以對接氮氣、氬氣等惰性氣體。
氬氣等離子體表面活化
由于等離子體清洗是在高真空條件下進行的，等離子體中各種活性離子自由路徑長，穿透性和滲透性強，可以用細管和盲孔等復雜結構進行處理。另一類等離子體表面處理機是氬氣、氦氣、氮氣等非反應氣體，氮氣等離子體處理可以提高材料的硬度和耐磨性。
Z廣泛應用于無機基板的表面粗化工藝。如玻璃基板外觀處理、金屬基板外觀處理等。3活性氣體輔助等離子清洗機的活化和清洗過程中，過程氣體往往是混合的，以達到更好的作用。由于氬氣分子尺寸較大，經比較電離后產生的顆粒，一般在表面清洗和活化過程中，氬氣與活性氣體混合。
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由于PTFE的疏水性(較低的表面能)，其表面很難形成金屬化的孔。用于制造柔性印制板的聚酰亞胺等材料的表面狀態也是如此。面對這一發展趨勢，等離子體設備加工技術將顯示出其獨特的優勢。使用等離子設備，一方面可以擴大企業的產品市場，另一方面也可以提高企業的產品檔次，使企業在不斷變化的市場需求中，擁有成功的有力工具。
氬氣等離子去膠設備
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等離子體表面清洗設備的應用使材料暴露在非粘性氣體的等離子體中，氬氣等離子體表面活化用等離子體轟擊材料表面，使材料表面結構發生許多變化，實現了材料的活化改性。等離子體表面清洗機用于材料表面改性的功能層非常薄(幾到幾百納米)，不影響材料的整體宏觀性能，屬于非破壞性過程。等離子體表面改性還可以利用等離子體聚合或接枝聚合功能在材料表面產生超薄、均勻、連續無孔的高功能，實現疏水、耐磨、裝飾等功能。
