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等離子體表面處理通常包括以下幾個(gè)反應(yīng)過(guò)程：1、首先無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；2、通過(guò)作用讓氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；3、被吸附物質(zhì)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；4、之后產(chǎn)物分子再解析形成氣相，以此達(dá)到反應(yīng)殘余物脫離表面的效果。。
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