等離子清洗機可以處理多種材料:包括塑料、金屬、汽車制造、紡織行業、電子行業、半導體封裝行業、LED行業甚至生物領域。等離子體清洗機主要適用于各種材料的表面改性:表面清洗、表面活化、表面刻蝕、表面接枝、表面沉積、表面聚合和等離子體輔助化學氣相沉積。
例如,薄膜電暈處理的作用電子產品中,LCD/OLED屏幕的鍍膜處理,PC塑料邊框的預粘接處理,機殼、按鍵等結構件的表面注油絲網印刷,PCB表面的去膠去污清洗,鏡片貼膠前處理,電線電纜噴碼前處理,汽車行業燈罩、剎車片、車門密封膠等貼膠前處理;機械行業金屬件精細無害化清洗處理、鏡片鍍前處理、各種工業材料間粘接密封前處理、三維物體表面改性處理等。PII技術已成功地應用于非金屬材料的離子注入。
等離子體中粒子的能量通常在幾到十電子伏特左右,薄膜電暈處理的作用比高分子材料的成鍵能(幾到十電子伏特)還要大。它能完全打破有機大分子的化學鍵,形成新的鍵,但遠低于高能放射線,只涉及材料表面,不影響基體的性能;等離子體表面處理設備技術在塑料和橡膠(陶瓷、玻璃)行業的應用:聚丙烯、PTFE等橡塑材料是非極性的,這些材料沒有等離子體表面處理設備的印刷、粘接、涂布效果很差,甚至無法進行。
超聲波清洗:眾所周知,塑料薄膜電暈處理檢測儀人們聽到的聲音是頻率為20~20000Hz的聲學信號。20000Hz以上的聲波稱為超聲波,聲波的傳輸按照正弦曲線縱向傳播,即一層強一層弱,依次傳輸。當微弱的聲信號作用于液體時,會對液體產生一定的負壓,這種負壓會在液體中形成許多微小的氣泡。當強聲信號作用于液體時,會對液體產生一定的正壓力,從而使液體中形成的微小氣泡被粉碎。
薄膜電暈處理的作用
從名稱上看,清洗不是清洗,而是加工和反應。從機理上看:等離子體清洗機在清洗中通過工作氣體在電磁場的作用下激發等離子體與物體表面發生物理反應和化學反應。其中,物理反應機理是活性粒子轟擊待清洗表面,使污染物從表面分離,最后通過真空泵吸走;其化學反應機理是各種活性顆粒與污染物反應生成揮發性物質,再通過真空泵將揮發性物質吸走,從而達到清洗的目的。
等離子清洗可大大改善工件外觀的粗糙度和親水性,有利于銀膠鋪貼和貼片,共同作用可大大節省銀膠用量,降低成本。2.引線鍵合前:芯片與基板鍵合后,經過高溫固化,其上的污染物可能包括微粒和氧化物等,這些污染物可能會從物理和化學反應中造成引線與芯片、基板之間的焊接不完全或粘合不良,導致鍵合強度不足。引線鍵合前的等離子清洗顯著提高了其外部活性,進而提高了鍵合絲的鍵合強度和張力均勻性。
該反應可以通過微波、電流柱放電和射頻等離子體實現。Liu以He為平衡氣體(占總氣體流量的60%~80%)通過流動塔排出。在一定的放電功率下,甲烷轉化率為20%~80%,二氧化碳轉化率為8%~49%,碳二烴產率為20%~45%。陳東亮等。在微波等離子體等離子體作用下直接轉化CH4和CO2,一步制得C2烴。反應中主要的C烴產物為C2H2和C2H6,等離子體功率的增加有利于C2H2的生成。姚等人。
當向氣體中加入足夠的能量使其電離時,它就變成了等離子體狀態。等離子體的“活性”成分包括:離子、電子、活性基團、激發核素(亞穩態)、光子等,等離子體處理器是指利用這種活性成分的性質對樣品表面進行清洗,進而達到光刻膠清洗、改性、灰化等目的。等離子體處理器的結構分為三大組成部分,即控制單元、真空腔和真空泵。
薄膜電暈處理的作用
真空等離子體清洗機等離子體中存在鞘層現象:由于等離子體一開始處于準電中性狀態,塑料薄膜電暈處理檢測儀如果等離子體中懸浮著一個不導電的絕緣基片,基片中的離子和電子都會向基片移動,單位時間內到達基片的電子數遠大于離子數。到達襯底的電子部分與離子重新結合,其余的都是離子,所以堿基底面會發生負電荷積累,從而在襯底表面形成負電位。這個負電位排斥隨后的電子,吸引正離子。當襯底的負電位達到一定水平時,離子流就會變成電子流。
該反應為純化學反應,薄膜電暈處理的作用屬于各向同性蝕刻。等離子邊緣蝕刻機是通過特殊的反應室結構設計,只對晶圓邊緣區域進行清潔蝕刻,對減少缺陷數量、提高成品率有很好的效果。1.電容耦合等離子體機:對兩個平行板電容器施加高頻電場,反應室中的初始電子在射頻電場作用下獲得能量,轟擊刻蝕氣體使其電離,產生更多的電子、離子和中性自由基,形成動態平衡的低溫等離子體。