正如將固體轉(zhuǎn)化為氣體需要能量一樣，電暈處理機(jī)原理及電路圖產(chǎn)生離子體也需要能量。一定量的離子體是由帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）的混合物組成的。離子體可以導(dǎo)電并與電磁力發(fā)生反應(yīng)。當(dāng)溫度升高時(shí)，物質(zhì)從固體變成液體，液體會(huì)變成氣體。當(dāng)氣體的溫度升高時(shí)，氣體分子就會(huì)分離成原子。如果溫度繼續(xù)升高，原子核周圍的電子就會(huì)脫離原子，變成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。
在外加電場(chǎng)加速下，電暈處理機(jī)的電流多大部分電離氣體中的電子與中性分子碰撞，并將從電場(chǎng)中獲得的能量轉(zhuǎn)移到氣體中。電子與中性分子的彈性碰撞導(dǎo)致分子動(dòng)能增加，表現(xiàn)為溫度的升高；非彈性碰撞導(dǎo)致激發(fā)（分子或原子中的電子從低能級(jí)躍遷到高能級(jí)）、解離（分子分解為原子）或電離（分子或原子的外層電子從束縛態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)樽杂呻娮樱８邷貧怏w通過傳導(dǎo)、對(duì)流和輻射向周圍環(huán)境傳遞能量。在穩(wěn)態(tài)條件下，給定體積中的輸入能和損失能相等。
例如，電暈處理機(jī)原理及電路圖在硅刻蝕工藝中使用的CF4/O2等離子體中，在壓力較低時(shí)，離子轟擊起主導(dǎo)作用，而隨著壓力的增加，化學(xué)刻蝕不斷加強(qiáng)，逐漸起主導(dǎo)作用。工作氣體的選擇是否也會(huì)影響等離子體清洗效果？工藝氣體的選擇是等離子體清洗工藝設(shè)計(jì)的關(guān)鍵步驟。雖然大多數(shù)氣體或氣體混合物在很多情況下可以去除污染物，但清洗速度可以相差幾倍甚至幾十倍。
11.在無(wú)線電波范圍內(nèi)高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光。等離子體的方向性不強(qiáng)，電暈處理機(jī)原理及電路圖使其深入到物體的微孔和凹陷處完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果（果子）和氟利昂清洗差不多，甚至更好。12.采用等離子清洗，可大大提高清洗效率。整個(gè)清洗過程可在幾分鐘內(nèi)完成，因此具有收率高的特點(diǎn)。13.等離子清洗機(jī)要控制的真空度在Pa左右，很容易達(dá)到。
電暈處理機(jī)的電流多大
通常指帶正電荷的陽(yáng)離子的作用，陽(yáng)離子有加速向帶負(fù)電荷表面移動(dòng)的趨勢(shì)。在這種情況下，物體表面獲得相當(dāng)大的動(dòng)能，足以移除附著在表面上的粒子。我們稱之為濺射現(xiàn)象，通過離子的撞擊在物體表面發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)紫外線具有很強(qiáng)的光能，能使附著在物體表面的物質(zhì)分子鍵斷裂和分解。此外，它具有很強(qiáng)的滲透性，可以穿透物體表面至幾微米的深度。
電暈處理機(jī)原理及電路圖
